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專利證書

科技創新是企業發展的源動力，費勉一向注重自主知識產權的原始積累，通過技術研發和創新不斷推動產品升級，提升公司核心創造力。
截止2025年5月底，我司已獲授權專利215個
此外,費勉儀器已獲31個發明專利，另有大量發明專利、實用新型專利在授權或申請中

用于超高真空腔體的等離子體清洗拋光裝置
專利號：ZL2017 1 1236830.4

適用于超高真空環境的緊湊型無液氮1K低溫制冷裝置
專利號：ZL 2016 1 1154635.2

一種磁力傳動機構及應用該傳動機構的真空管道系統
專利號：ZL 2016 1 1011730.7

一種集成冷卻裝置的高亮度紫外光源
專利號：ZL 2016 1 0791833.3

一種真空紫外光源裝置
專利號：ZL 2016 1 0261838.5

真空原位反應裝置
專利號：ZL 2015 1 0761877.7

一種機械傳遞臂及真空傳遞腔
專利號：ZL 2015 1 0661875.0

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