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薄膜制備

完善各種蒸發技術的開發和產業化，實現對蒸發、電子束蒸發及磁控蒸發的消化，在現有的技術進步優化和改善傳統技術上，提供全周期表的解決方案，與OLED，芯片制造等領域的專家合作，實現大容積工業化鍍膜設備的產業化。
真空技術

借助于目前國內的制造業優勢和人才優勢，通過標準真空產品和定制化系統兩個渠道，提高再國內外市場占有率，同時利用自身的優勢，服務國家重大科學項目和產業結構轉型，為航空航天，材料研究，芯片制造等提供基礎支撐。
低溫技術

基于在基礎研究領域積累的技術優勢，深入挖掘各種無液氦電制冷技術，實現對現有液氦制冷技術的替代，做到更好的技術指標和操作性。此外把低溫技術利用到生物冷凍和基因領域，試制一些低溫存儲和傳輸樣機，從源頭解決生物無損保存的問題。
等離子技術

提高等離子的發生效率和功率，為小型化及工業應用做準備；紫外光源前期將面對科研的光譜和質譜用戶，后期將瞄準光刻等高端需求，離子源將作為工業化用途，完成對目前離子源技術的替代。

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