核心技術
core technology
提高等離子的發(fā)生效率和功率，為小型化及工業(yè)應用做準備；紫外光源前期將面對科研的光譜和質譜用戶，后期將瞄準光刻等高端需求，離子源將作為工業(yè)化用途，完成對目前離子源技術的替代。
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