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EN 021-6525 3206

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LT 系列低溫源

LT系列低溫源專為高飽和蒸氣壓材料設計,適用于Cd,Mg,Zn,Te,Sr,Yb,Ca,CdTe,ZnTe,Bi,Pb等材料。低溫源包含兩個加熱區及中間隔離區,其中底部坩堝與插入坩堝噴口之間的溫度梯度可以通過上下溫區的加熱絲功率比例進行調節,中間隔離區可有效散熱,避免上下溫區的溫度串擾。源爐配備兩組K型熱偶,分別測量坩堝底部和頂部的溫度。頂部插入式坩堝采用PG鍍層石墨坩堝,可最大程度確保束流空間分布均勻性,提高束流的穩定性。


產品特點
●  裝料容積大●  束流穩定性高;均勻性優異;坩堝可重復使用可靠性高,維護成本低



                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
技術參數

蒸發源型號
LT27LT250
坩堝容積 (cc)27250
安裝法蘭尺寸CF35CF100
總長度 (mm)424.2398.5
真空內長度 (mm)282.1245
真空內外徑 (mm)37.578

坩堝尺寸

(mm)

口部外徑36.877
口部內徑20.248.2
高度89.8140.8
坩堝材質插入式坩堝噴口: PG鍍層石墨坩堝 / 底部坩堝: PBN坩堝
坩堝形狀柱狀坩堝
加熱方式輻射加熱,PBN支撐鉭片
熱電偶2×K型
溫度穩定性≤±0.2℃
工作溫度100-950℃
最高除氣溫度上溫區1050℃ / 下溫區1100℃
烘烤溫度250℃
訂購編碼32050100633205010096

LT低溫源與Riber或Veeco MBE系統兼容信息請聯系費勉儀器


測試數據

資源 9@4x.png

標簽: 超高真空MBE
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