LT系列低溫源專為高飽和蒸氣壓材料設計,適用于Cd,Mg,Zn,Te,Sr,Yb,Ca,CdTe,ZnTe,Bi,Pb等材料。低溫源包含兩個加熱區及中間隔離區,其中底部坩堝與插入坩堝噴口之間的溫度梯度可以通過上下溫區的加熱絲功率比例進行調節,中間隔離區可有效散熱,避免上下溫區的溫度串擾。源爐配備兩組K型熱偶,分別測量坩堝底部和頂部的溫度。頂部插入式坩堝采用PG鍍層石墨坩堝,可最大程度確保束流空間分布均勻性,提高束流的穩定性。
● 裝料容積大 | ● 束流穩定性高;均勻性優異;坩堝可重復使用 | ● 可靠性高,維護成本低 |
蒸發源型號 | LT27 | LT250 | |
坩堝容積 (cc) | 27 | 250 | |
安裝法蘭尺寸 | CF35 | CF100 | |
總長度 (mm) | 424.2 | 398.5 | |
真空內長度 (mm) | 282.1 | 245 | |
真空內外徑 (mm) | 37.5 | 78 | |
坩堝尺寸 (mm) | 口部外徑 | 36.8 | 77 |
口部內徑 | 20.2 | 48.2 | |
高度 | 89.8 | 140.8 | |
坩堝材質 | 插入式坩堝噴口: PG鍍層石墨坩堝 / 底部坩堝: PBN坩堝 | ||
坩堝形狀 | 柱狀坩堝 | ||
加熱方式 | 輻射加熱,PBN支撐鉭片 | ||
熱電偶 | 2×K型 | ||
溫度穩定性 | ≤±0.2℃ | ||
工作溫度 | 100-950℃ | ||
最高除氣溫度 | 上溫區1050℃ / 下溫區1100℃ | ||
烘烤溫度 | 250℃ | ||
訂購編碼 | 3205010063 | 3205010096 |
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