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材料沉積表

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Ta

時間:2021.11.05來源 :點擊次數:1226次

材料 符號(原子序數)
熔點(℃)
密度(g/cm3)
Z-Ratio
飽和蒸氣壓溫度(℃)
建議蒸發源*
建議坩堝*
注意事項
E-8Torr
E-6 Torr
E-4Torr
Ta(73)
2996 16.65 0.262 1960 2240
2590
E38EB/EBV



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