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EN 021-6525 3206

材料沉積表

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Cu

時間：2021.08.25來源 ：點擊次數：1667次
材料 符號（原子序數）
 熔點(℃)
 密度（g/cm3）
 Z-Ratio
 飽和蒸氣壓(℃)
 建議蒸發(fā)源*
 建議坩堝*
 注意事項
E-8Torr
 E-6 Torr
 E-4Torr
銅 Cu（29）
 1084 8.96 0.437 727 857
 1017
 E38MT/E63MT/E38HT Al2O3/Mo/Ta
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