費勉儀器科技有限公司自主設計的BL-1030S 系列真空紫外光源，使用三級差分腔體，通過超高真空閥隔離聚焦毛細管與差分腔，能夠使用Ar，Kr，Xe，N2，H2等多種工作氣體，覆蓋了30 nm-150 nm（41 eV -8.3 eV）的多個光子能量，光子通量達到1013 photons/s
| ● 寬光譜：8.43eV ~ 40.8eV（30.3nm-147.6nm） | ● 工作氣體：He，Ne，Ar，Kr，Xe，... | ● 電源：由24V / 200 W電源驅動的緊湊型固態RF源 |
| ● 兼容UHV，全金屬密封 | ● 使用壽命長：> 20000小時 |
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