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費(fèi)勉儀器開發(fā)的超高真空原位輸運(yùn)測(cè)量系統(tǒng)集成了分子束外延（MBE）、原位電極蒸鍍、原位微區(qū)探針(M4PP)輸運(yùn)測(cè)量和原位互感磁化率測(cè)量等功能。具備低溫（4K）、強(qiáng)磁場(chǎng)（9T）和超高真空（E-10mbar）可實(shí)現(xiàn)薄膜制備以及原位物性測(cè)量。探針托、互感托均基于標(biāo)準(zhǔn)的旗形樣品托設(shè)計(jì)，可以實(shí)現(xiàn)與其他表征或測(cè)試設(shè)備互聯(lián)。微區(qū)四探針（M4PP）輸運(yùn)測(cè)量和原位互感；兩種實(shí)驗(yàn)手段結(jié)合，可以同事研究超導(dǎo)體的零電阻和完全抗磁性兩大特征。
| ● 原位互感模塊，可以無損探測(cè)抗磁信號(hào)，研究超導(dǎo)薄膜的超導(dǎo)轉(zhuǎn)變 | ● 微區(qū)四探針模塊，可以實(shí)現(xiàn)薄膜樣品的原位電輸運(yùn)測(cè)量 | ● 原位電極蒸鍍模塊，可以在真空腔內(nèi)味薄膜樣品制作輸運(yùn)測(cè)量中所必須的探測(cè)電極 |
| ● 低溫強(qiáng)磁場(chǎng)模塊 | ● 壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)探針托或者互感托靠近樣品表面 | ● 外置光學(xué)顯微鏡進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) |
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