規格說明
| ● 安裝法蘭：DN 350CF； | ● 襯底尺寸：3英寸； | ● 加熱器：SiC加熱器； | ● K型熱偶測溫； | ● 旋轉速度：0~30 RMP； |
| ● 溫度范圍：RT-1000℃； | ● Z軸行程：50mm； | ● 定制長度； | ● 應用領域：薄膜制備、脈沖激光沉積、磁控濺射 |
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