● 全金屬密封臭氧液化池● 無硅膠吸附劑● 閉循環制冷機自動控溫● 提純速度快,準備時間只需30分鐘;提純1小時,能產出約4標升高純臭氧氣體,可滿足大部分用戶十小時以上的生長需求● 設計緊湊,尺寸 400*700*1200mm(高)● 操作簡便,即起即停● 高純臭氧應用領域:化學氣相沉積(CVD),原子層沉積(ALD),氧化物生長,表面處理,粒子清潔,光刻膠去除,灰化等。
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