費勉儀器Demo系統一期正式交付
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2019年12月6日,費勉儀器向復旦大學張遠波教授提供的原位閉循環低溫輸運系統完成現場安裝測試。該系統可實現MBE生長和原位10電極輸運測量的超高真空互聯,樣品最低溫度小于4K。所有指標達到合同標準。
(圖1)原位10電極閉循環低溫輸運與MBE互聯系統