材料放氣率測試系統OGMS-100由真空抽氣模塊、小孔流導法測量模塊、溫度控制模塊與質譜分析模塊等四部分組成。該系統采用小孔流導法，通過在不同溫度下對主腔室、測試腔以及對照腔的真空檢測，可以計算出材料在不同溫度下的放氣率。系統采用完全對稱的雙測試腔室結構，可以排除腔體本底放氣以及其他部件放氣對測試結果的影響，使結果更具真實性。同時，系統在測試腔和對照腔配有質譜分析模塊，可以動態、實時、精確的對放氣成分進行檢測和分析。
| 材料放氣率測試系統OGMS-100 | |
雙腔室結 | 測試腔用于裝載待測材料，對照腔室為空腔，從而校正實驗中本底放氣和其它干擾因素 |
| 小孔流導設計 | 兩個腔體之間通過小孔相連，通過對氣體流動的檢測，計算材料的放氣速率 |
| 高精準性 | 檢測下限可達5×10-10（Pa·m3）/（s·cm2） |
| 適用性廣泛 | 可在不同溫度（RT-1100℃）和壓力條件下測量，滿足各種材料的測試需求 |
| 快速響應性 | 從常壓到極限真空12小時，大幅提升測試效率 |
| 系統組成 | 配置描述 |
| UHV主腔室 | 標準立方腔體采用耐腐蝕不銹鋼（SS316）制造，確保長期穩定性 |
| 配備高真空泵組，包括國際一線品牌分子泵和干泵，極限真空壓力5E-9mbar | |
| 測試腔與對照腔 | 柱狀腔體設計，極限真空平衡1E-8mbar |
| 溫度范圍RT-1100℃，控溫精度±0.5℃ | |
| 質譜儀 | 可測量質荷比≥200Th，分壓檢測分別達到1×10-11Pa |
| 對材料釋放的氣體成分進行分子水平的定量和定性分析 | |
| 快速進樣模塊（LL1和LL2） | 快速取放樣品，并可在12h內完成從常壓到超高真空的轉變 |
| 支持樣品在腔室間的安全、便捷傳輸 | |
| 智能化控制系統 | 標準化自動控制軟件，支持質譜儀、溫控模塊和真空系統的集成管理，一鍵啟停，可單獨控件 |
| 實時監控系統狀態，支持數據導入、導出、查詢及截取篩選，實時顯示真空度、氣體分子量與時間或溫度關系，兼具2D圖標及3D視圖 | |
| 加熱模式切換功能，手動/自動程序設定切換功能，可設定采樣周期，可定時啟動，氣體分子量1-100可掃描可篩選，實時記錄系統操作流程 | |
| 內置真空邏輯互鎖、烘烤與加熱互鎖及腔體過熱保護，控制界面防誤觸、確保設備和實驗的安全性 |
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