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直線互聯系統

直線互聯系統與圓型傳樣系統互為補充,均可實現樣品在超高真空的環境下在不同系統間的傳遞,但是側重點略有不同。圓形傳樣系統相對較為緊湊,適合于小型實驗室級別的互聯搭建;直線互聯系統單次傳遞的樣品尺寸和數量更多,適合于較大型的互聯搭建。同時圓形傳樣系統和直線傳樣系統也能實現互相搭配,例如圓形搭配直線,圓形搭配圓形,或者直線再擴展。費勉儀器已經有豐富的設計和搭建經驗和案例供用戶參考。

費勉儀器的直線互聯系統采用了自有知識產權(發明專利號:ZL201611011730.7), 能夠實現傳輸小車自動穿越法蘭接口和閘板閥,方便樣品長距離的馬達化傳輸。同時與現有的很多互聯系統不同,我們將小車的耦合裝置置于系統的底部,這樣的結構更加方便樣品的觀察和操作同時節約了安裝空間,使系統也更加美觀。


規格說明
LDC1000
腔體內徑150mm
系統對接法蘭NW63CF(可定制)
觀察口法蘭CF63 (可定制)
最小單元長度2米
最長長無限制
泵組搭配分子泵組,復合離子泵組(Ion+NEG)
樣品運動速度3 m/min
極限真空<3x 10-10 mbar
線性重復精度<0.1mm
最高烘烤溫度150℃


標簽: 超高真空MBE
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