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費(fèi)勉儀器提供的6軸閉循環(huán)低溫樣品架可以實(shí)現(xiàn)樣品位置以及姿態(tài)的精確控制，它主要由低溫樣品桿、溫度控制系統(tǒng)、XYZ-R1位移臺(tái)、馬達(dá)控制系統(tǒng)四部分組成。整個(gè)樣品架及位移臺(tái)均使用無磁材料，可以在超高真空下使用。樣品臺(tái)可以在X、Y、Z方向大范圍移動(dòng)，并可實(shí)現(xiàn)繞三個(gè)軸的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)（旋轉(zhuǎn)角R1、俯仰角R2、面內(nèi)旋轉(zhuǎn)角R3）。其中，X/Y/Z/R1通過XYZ-R1位移臺(tái)實(shí)現(xiàn)，R2和R3通過樣品桿的齒輪傳動(dòng)結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)。 馬達(dá)控制軟件可以與ScientaOmicron的分析器聯(lián)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)automapping功能。
| ● 運(yùn)行成本低：采用風(fēng)（水）冷式GM制冷機(jī)提供冷量 | ● 多自由度：可實(shí)現(xiàn)全馬達(dá)6軸控制 | ● 操作便捷：即插即用，可長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行 | ● 多種功能模塊可選 |
| ● 超低溫：樣品臺(tái)最低穩(wěn)定可達(dá)6K | ● 精準(zhǔn)控溫：PID控溫精度可達(dá)10mK | ● 快速變溫：從室溫至6K，小于4小時(shí) |
| ● 樣品停放臺(tái) | ● 雙樣品低溫樣品臺(tái) | ● 高溫樣品臺(tái)（可選電子束加熱） | ● YAG臺(tái) |
| ● 樣品浮動(dòng)模塊 | ● 低溫解理模塊 | ● 四電極輸運(yùn)測(cè)量模塊 |
| R1軸向旋轉(zhuǎn) | 360°（-180°，+ 180°） |
| R2俯仰角旋轉(zhuǎn) | 60°（-15°，+45°） |
| R3面內(nèi)角旋轉(zhuǎn) | 240°（-120°，+ 120°） |
| X / Y行程 | 25mm（±12.5mm） |
| Z行程 | 最大650mm |
| 4-軸 | 5A-軸 | 5F-軸 | 5.5-軸 | 6-軸 | |
| XY行程 | ±12.5mm | ±12.5mm | ±12.5mm | ±12.5mm | ±12.5mm |
| Z行程 | 最長(zhǎng)700mm | 最長(zhǎng)700mm | 最長(zhǎng)700mm | 最長(zhǎng)700mm | 最長(zhǎng)700mm |
| XYZ驅(qū)動(dòng) | 手動(dòng)/馬達(dá) | 手動(dòng)/馬達(dá) | 手動(dòng)/馬達(dá) | 手動(dòng)/馬達(dá) | 手動(dòng)/馬達(dá) |
| XYZ精度 | ＜0.01mm | ＜0.01mm | ＜0.01mm | ＜0.01mm | ＜0.01mm |
| R1范圍 | 360°（-180°，+180°） | 360°（-180°，+180°） | 360°（-180°，+180°） | 360°（-180°，+180°） | 360°（-180°，+180°） |
| R1控制方式 | 手動(dòng)/馬達(dá) | 手動(dòng)/馬達(dá) | 手動(dòng)/馬達(dá) | 手動(dòng)/馬達(dá) | 手動(dòng)/馬達(dá) |
| R1控制精度 | ＜0.1° | ＜0.1° | ＜0.1° | ＜0.1° | ＜0.1° |
| R1減速比 | 360:0.2 | 360:0.2 | 360:0.2 | 360:0.2 | 360:0.2 |
| R2（Flip)范圍 | —— | —— | 60°（-15°，+45°） | 60°（-15°，+45°） | 60°（-15°，+45°） |
| R2驅(qū)動(dòng) | —— | —— | 馬達(dá) | 手動(dòng)/馬達(dá) | 手動(dòng)/馬達(dá) |
| R2精度 | —— | —— | ＜0.1° | ＜1° | ＜0.1° |
| R2減速比 | —— | —— | 360:9 | 360:6 | 360:3 |
| R3（Azi)范圍 | —— | 240°（-120°，+120°） | —— | 240°（-120°，+120°） | 240°（-120°，+120°） |
| R3驅(qū)動(dòng) | —— | 手動(dòng)/馬達(dá) | —— | 手動(dòng) | 手動(dòng)/馬達(dá) |
| R3精度 | —— | ＜0.1° | —— | 手動(dòng)＜1° | ＜0.1° |
| R3減速比 | —— | 360:5 | —— | 360:4.5 | 360:4 |
| 溫度范圍 | ＜4-325K | ＜5-325K | ＜5-325K | ＜6-325K | ＜6-325K |
| 最低溫度 | ＜4K | ＜5K | ＜5K | ＜6K | ＜6K |
| 控制精度 | ＜0.01K | ＜0.01K | ＜0.01K | ＜0.01K | ＜0.01K |
| 降溫時(shí)間 | ＜3 Hour (RT-6K) | ＜4 Hour (RT-6K) | ＜4 Hour (RT-6K) | ＜5 Hour (RT-6K) | ＜6 Hour (RT-6K) |
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