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MBE-600系統(tǒng)非常適合III-V，II-VI的材料應(yīng)用，該系統(tǒng)可以對(duì)1、2和3英寸襯底進(jìn)行外延，并且其垂直腔室設(shè)計(jì)以及各種先進(jìn)組件可實(shí)現(xiàn)逐層精確的外延。
MBE-600的突出特點(diǎn)是系統(tǒng)的高可靠性、多功能性和緊湊性，這些功能使MBE-600系統(tǒng)特別適合研發(fā)應(yīng)用及準(zhǔn)批量生產(chǎn)。MBE-600的標(biāo)準(zhǔn)版本包括10個(gè)源端口，其中7個(gè)法蘭尺寸為4.5英寸（DN63CF），3個(gè)法蘭尺寸為2.75英寸（DN35CF）。MBE-600的定制版本也涵蓋了特定的生產(chǎn)需求，例如超高真空解理鍍膜系統(tǒng)。
根據(jù)我們所有客戶的要求，我們提供不同種類的普通蒸發(fā)源，帶閥的裂化器源，氣體源和電子束蒸發(fā)源。通過(guò)使用BFM，QCM，RHEED，RGA等，可以獲得系統(tǒng)原位表征。費(fèi)勉的MBE軟件包括生長(zhǎng)工藝程序編寫、自動(dòng)生長(zhǎng)控制和不間斷數(shù)據(jù)記錄三大功能。可以執(zhí)行生長(zhǎng)工藝程序控制擋板運(yùn)動(dòng)，源爐溫度，襯底溫度，襯底旋轉(zhuǎn)速度和方向。保證最大的操作可重復(fù)性和安全性。控制軟件包括溫度曲線，真空壓力曲線，電源輸出功率曲線，各系統(tǒng)間傳樣等工藝需求功能。
| MBE-600 手動(dòng)傳樣系統(tǒng) | |
 | 可以進(jìn)行3inch襯底傳遞。費(fèi)勉儀器將傳統(tǒng)的襯底轉(zhuǎn)移方法轉(zhuǎn)換為一個(gè)功能齊全的設(shè)備。該系統(tǒng)不僅可以提供水平線性運(yùn)動(dòng)進(jìn)行襯底轉(zhuǎn)移，而且可以在垂直方向上提供高達(dá)25 mm的移動(dòng)空間以進(jìn)行上下運(yùn)動(dòng)來(lái)取出或放置襯底。該系統(tǒng)無(wú)需使用二次運(yùn)動(dòng)工具，降低了成本并極大地簡(jiǎn)化了襯底傳輸技術(shù)。 |
| MBE-600 Cluster 全自動(dòng)傳樣系統(tǒng) | |
 | 可以輕松將襯底傳至各個(gè)腔室，而不會(huì)破壞MBE腔室真空度。Cluster Tool是安裝在UFO頂部或底部的機(jī)械臂組件，可360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)，目的是在整個(gè)MBE系統(tǒng)中轉(zhuǎn)移襯底；搭配線性驅(qū)動(dòng)裝置，實(shí)現(xiàn)垂直方向0~50mm自由運(yùn)動(dòng)，目的是放置和抓取襯底。機(jī)械臂末端可搭配3inch襯底抓取頭，最大負(fù)載可達(dá)1kg。機(jī)械臂通過(guò)高扭矩磁耦合驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)機(jī)械臂旋轉(zhuǎn)至所需真空腔體端口，定位基片安裝在機(jī)械臂前端上，以檢測(cè)機(jī)械臂在系統(tǒng)模塊內(nèi)移動(dòng)襯底的過(guò)程。 |
| 配置 | MBE-600 | |
| 生長(zhǎng)室 | 腔體尺寸 | 450mm I.D. |
| 極限真空 | <2×10-10mbar | |
| 液氮冷屏 | 標(biāo)配 | |
| 冷屏通液氮后極限真空 | <5×10-11mbar | |
| 襯底加熱器最高溫度 | 1000℃ | |
| 襯底加熱器溫度穩(wěn)定性 | ±0.5℃ | |
| 襯底最大尺寸 | 3inch | |
| 襯底旋轉(zhuǎn) | 60RPM | |
| 蒸發(fā)源配置 | CF35×3／CF63×7 | |
| 獨(dú)立的蒸發(fā)源擋板 | 電機(jī)驅(qū)動(dòng) | |
| 離子規(guī) | 1×10-3~2×10-11mbar | |
| 烘烤溫度 | 200℃ | |
| 預(yù)處理 | 極限真空 | <2×10-10mbar |
| 預(yù)處理加熱器最高溫度 | 450℃ | |
| 離子規(guī) | 1×10-3~2×10-11mbar | |
| 進(jìn)樣室 | 極限真空 | <1×10-8mbar |
| 樣品停放臺(tái) | 至少4+2 | |
| 紅外烘烤燈 | 選配 | |
| 全量程規(guī) | 1×103~5×10-9mbar | |
| 傳樣室 | 極限真空 | <5×10-10mbar |
| 傳樣時(shí)壓力 | <1×10-9mbar | |
| 手動(dòng)/全自動(dòng) | 選配 | |
| 離子規(guī) | 1×10-3~2×10-11mbar | |
| 樣品停放臺(tái) | 至少4+2 | |
| 系統(tǒng)控制 | 觸摸屏操作面板 | 加配 |
| 生長(zhǎng)工藝程序編寫 | 加配 | |
| 自動(dòng)生長(zhǎng)控制 | 加配 | |
| 不間斷數(shù)據(jù)記錄 | 加配 | |
| 報(bào)警保護(hù)功能 | 加配 | |
| 聯(lián)鎖功能 | 加配 | |
| 選配 | CCD | 選配 |
| 手套箱 | 選配 | |
| 磷回收系統(tǒng) | 選配 | |
| 襯底紅外測(cè)溫系統(tǒng) | 選配 | |
| 真空照明系統(tǒng) | 選配 | |
| SMS | 選配 |
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